发明名称 Thin film transistor and method of fabrication
摘要
申请公布号 US3289054(A) 申请公布日期 1966.11.29
申请号 US19630333443 申请日期 1963.12.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HAERING RUDOLPH R.;MIKSIC MARK G.
分类号 H01L23/29;H01L29/00;H01L29/786 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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