发明名称 |
Thin film transistor and method of fabrication |
摘要 |
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申请公布号 |
US3289054(A) |
申请公布日期 |
1966.11.29 |
申请号 |
US19630333443 |
申请日期 |
1963.12.26 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
HAERING RUDOLPH R.;MIKSIC MARK G. |
分类号 |
H01L23/29;H01L29/00;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L23/29 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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