发明名称 ETCHING DEPTH MONITOR AND CONTROL
摘要
申请公布号 GB2088782(A) 申请公布日期 1982.06.16
申请号 GB19800039048 申请日期 1980.12.05
申请人 BURROUGHS CORP 发明人
分类号 C23F1/00;H05K1/02;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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