发明名称
摘要
申请公布号 DE2445879(C2) 申请公布日期 1982.06.09
申请号 DE19742445879 申请日期 1974.09.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., 10504 ARMONK, N.Y., US 发明人 ESCH, RONALD PHILIP;HUANG, PATRICK CHIN-SHENG, MANASSAS, VA., US
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L29/00;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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