发明名称 GAS FLOW RATE CONTROL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5784924(A) 申请公布日期 1982.05.27
申请号 JP19800160408 申请日期 1980.11.14
申请人 YAMATAKE HONEYWELL KK 发明人 KOJIMA TADASHI;UCHIHAMA TETSUO;TANAKA KAZUYOSHI;MOROZUMI EIICHI;INOUE KENTAROU
分类号 F23N1/00;F16K31/12 主分类号 F23N1/00
代理机构 代理人
主权项
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