| 发明名称 |
ION SOURCE FOR NETRAL PARTICLE INCIDENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5778800(A) |
申请公布日期 |
1982.05.17 |
| 申请号 |
JP19800153881 |
申请日期 |
1980.11.04 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
SEKIMOTO SHINYA;NARITA SHIYOUJI |
| 分类号 |
H05H1/22;H01J27/08;H05H3/00 |
主分类号 |
H05H1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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