发明名称 ELEKTRONENSTRAHL-MESSGERAET ZUR STROBOSKOPISCHEN MESSUNG HOCHFREQUENTER PERIODISCHER VORGAENGE
摘要
申请公布号 DE3036708(A1) 申请公布日期 1982.05.13
申请号 DE19803036708 申请日期 1980.09.29
申请人 SIEMENS AG 发明人 FEUERBAUM,HANS-PETER,DIPL.-PHYS.
分类号 G01P3/40;G01H11/06;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/26;(IPC1-7):G01R19/00;H01J37/25;H01L21/66 主分类号 G01P3/40
代理机构 代理人
主权项
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