| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MAGNETI SUBSTANCE THIN FILM TARGET FOR SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5775414(A) |
申请公布日期 |
1982.05.12 |
| 申请号 |
JP19800151206 |
申请日期 |
1980.10.28 |
| 申请人 |
FUJI SHASHIN FILM KK |
发明人 |
NAGAO MAKOTO;NAHARA AKIRA;ARAI YOSHIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;H01F41/18;H01F41/20;(IPC1-7):H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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