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发明名称 APPARATUS FOR COATING RESIST
摘要
申请公布号 JPS5771666(A) 申请公布日期 1982.05.04
申请号 JP19800146505 申请日期 1980.10.20
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 ARAKI RIYOUSUKE
分类号 B05C11/08;H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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