| 发明名称 |
PREPARATION OF SINGLE CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5771894(A) |
申请公布日期 |
1982.05.04 |
| 申请号 |
JP19800144664 |
申请日期 |
1980.10.16 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
HOSOKI YOSHISATO;HISATOMI KIYOSHI |
| 分类号 |
C30B15/10;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/324 |
主分类号 |
C30B15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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