发明名称 Methods of Etching Materials Containing Silicon
摘要
申请公布号 GB2084988(A) 申请公布日期 1982.04.21
申请号 GB19800031741 申请日期 1980.10.02
申请人 POST OFFICE THE 发明人
分类号 C03B37/018;C03B37/027;C03C15/00;(IPC1-7):C03B37/07 主分类号 C03B37/018
代理机构 代理人
主权项
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