发明名称 VIDEO OBSERVING DEVICE FOR PARTICLE BEAM OPTICAL UNIT
摘要
申请公布号 JPS5755047(A) 申请公布日期 1982.04.01
申请号 JP19810127860 申请日期 1981.08.17
申请人 CARL ZEISS STIFTUNG 发明人 ERUNSUTO GIYUTAA;MANFUREETO MENTSUERU
分类号 H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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