发明名称
摘要
申请公布号 JPS5747033(U) 申请公布日期 1982.03.16
申请号 JP19800124624U 申请日期 1980.09.01
申请人 发明人
分类号 B25B9/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25B9/02
代理机构 代理人
主权项
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