发明名称 TURBOMOLECULAR VACUUM UNIT
摘要
申请公布号 SU909324(A1) 申请公布日期 1982.02.28
申请号 SU19772522659 申请日期 1977.09.12
申请人 KEMENOV VLADIMIR N,SU;LEONOV LEONID B,SU 发明人 KEMENOV VLADIMIR N,SU;LEONOV LEONID B,SU
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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