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发明名称 APPARATUS FOR ELEMENTARY SILICON DEPOSITION
摘要
申请公布号 PL120081(B1) 申请公布日期 1982.02.27
申请号 PL19760190646 申请日期 1976.06.23
申请人 发明人
分类号 C30B25/16;C23C16/46;G05F1/455;H01L21/205;H02M5/253;(IPC1-7):H05B1/02 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
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