| 发明名称 |
ENHANCEMENT OF RESIST DEVELOPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU520640(B2) |
申请公布日期 |
1982.02.18 |
| 申请号 |
AU19780038838 |
申请日期 |
1978.08.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
J.A. CAROTHERS;J. ECONOMY;A.C. OUANO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03C1/72;G03F7/022;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06;(IPC1-7):G03C1/54;G03F7/10 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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