| 发明名称 |
Electron beam evaporator and container for holding evaporable material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH627790(A5) |
申请公布日期 |
1982.01.29 |
| 申请号 |
CH19770007437 |
申请日期 |
1977.06.17 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
KARL-GEORG REDEL;WALTER ZUELTZKE |
| 分类号 |
H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/12 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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