发明名称 OPERATING METHOD OF VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 JPS5713286(A) 申请公布日期 1982.01.23
申请号 JP19800087754 申请日期 1980.06.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SAKAKIBARA SUEHISA
分类号 F04B37/16;F04B37/14;F04B49/00 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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