发明名称 SCHICHTDICKENMONITOR UND VERFAHREN ZUM MESSEN ODER UEBERWACHEN DER DICKE EINES DUENNSCHICHTFILMS
摘要
申请公布号 DE3103082(A1) 申请公布日期 1982.01.14
申请号 DE19813103082 申请日期 1981.01.30
申请人 RCA CORP. 发明人 RIDDLE SANDERCOCK,JOHN
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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