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发明名称
INTEGRIERTE SCHALTUNG MIT MEHRSCHICHTENVERBINDUNGEN
摘要
申请公布号
DE3114679(A1)
申请公布日期
1982.01.14
申请号
DE19813114679
申请日期
1981.04.10
申请人
HITACHI,LTD.
发明人
MASAKI,AKIRA;KADONO,SHINJI;CHIBA,TSUNEYO;SAITO,TETSUYA
分类号
H01L23/528;(IPC1-7):01L23/52;11C5/10
主分类号
H01L23/528
代理机构
代理人
主权项
地址
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