发明名称 FINE PARTICLE MEASURING APPARATUS FOR LASER
摘要
申请公布号 JPH01260345(A) 申请公布日期 1989.10.17
申请号 JP19880088306 申请日期 1988.04.12
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OKADA RYOZO;TSUKADA KAZUYA;YAMAMOTO HOZUMI;SUDA TADASHI
分类号 G01N15/02;G01N15/14 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
主权项
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