发明名称 Arrangemet for optical coupling between an optical waveguide and a photodiode on a substrate of silicon.
摘要 Es wird eine Anordnung zum Koppeln eines Wellenleiters an eine Photodiode für den Kurzwelligen Infrarotstrahlungs-Bereich angegeben, die auf Silizium integriert in konventioneller IC-Technologie einfach hergestellt werden kann. Dazu besteht der Wellenleiter (2) aus einem planaren Wellenleiter mit einer wellenleitenden Kernschicht (20) aus einem für eine in Silizium ausbreitungsfähige optische Welle (4) durchlässigen Material, die Photodiode (3) ist eine Schottky-Barriere-Diode mit einer an Silizium grenzenden Schottky-Kontaktschicht (30) aus metallisch leitendem Material und der planare Wellenleiter (2) ist durch Leckwellenkopplung an die Schottky-Kontaktschicht (30) gekoppelt. Anwendung bei Lichtwellenleiter-Bauelementen <IMAGE>
申请公布号 EP0378112(A2) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 EP19900100167 申请日期 1990.01.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 STEIN, KARL-ULRICH, DR.
分类号 G02B6/42;H01L31/108 主分类号 G02B6/42
代理机构 代理人
主权项
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