发明名称 Low sheet resistivity composite conductor gate MOS device
摘要
申请公布号 GB2077993(A) 申请公布日期 1981.12.23
申请号 GB19810009247 申请日期 1981.03.24
申请人 STANDARD MICROSYSTEMS CORP 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/62 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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