发明名称 PROCEDE POUR FORMER DES REGIONS D'IMPURETES PAR IRRADIATION IONIQUE A HAUTE ENERGIE ET DISPOSITIFS A SEMICONDUCTEURS AINSI OBTENUS
摘要
申请公布号 BE889247(A1) 申请公布日期 1981.12.16
申请号 BE19810205118 申请日期 1981.06.16
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. 发明人 BARTKO J
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/74;(IPC1-7):C30B/;H01L/ 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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