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发明名称 Abatement of NF3 with metal oxalates
摘要 A process for abating NF3 by contacting it with a metal oxalate or carbonate.
申请公布号 US5910294(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 US19970971545 申请日期 1997.11.17
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LANGAN, JOHN GILES;WITHERS, JR., HOWARD PAUL
分类号 A62D3/00;C01D3/02;C01D17/00;(IPC1-7):C01B21/00;C01B9/08;C01J8/00 主分类号 A62D3/00
代理机构 代理人
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