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发明名称 VERFAHREN ZUR LADUNGSTRAEGERKONZENTRATIONSBESTIMMUNG IN P-N UND N-P UEBERGAENGEN
摘要
申请公布号 DD152446(A1) 申请公布日期 1981.11.25
申请号 DD19800223157 申请日期 1980.08.06
申请人 JANIETZ,PETER,DD;WEICHE,REINHARD,DD;LANDSBERG,ROLF,DD;HINZMANN,HORST,DD 发明人 JANIETZ,PETER,DD;WEICHE,REINHARD,DD;LANDSBERG,ROLF,DD;HINZMANN,HORST,DD
分类号 G01N27/22;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N27/22
代理机构 代理人
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