发明名称 FORMING AN INSULATING LAYER OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 IE811105(L) 申请公布日期 1981.11.19
申请号 IE19810001105 申请日期 1981.05.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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