发明名称
摘要
申请公布号 JPS5647951(B2) 申请公布日期 1981.11.12
申请号 JP19770024463 申请日期 1977.03.08
申请人 发明人
分类号 C23C14/56;C23C14/28;C23C14/32 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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