阶段性控制显影制程之方法

摘要

一种阶段性控制显影制程之方法。首先,提供复数个基板,且各该基板上具有一光阻层。然后利用一输送带(conveyor)输送该等基板进行一显影制程,并于该输送带进行输送时阶段性改变该输送带之输送速度,以控制该显影制程中各该基板之显影速度并藉以控制该光阻层在显影时的线宽。