发明名称 非挥发性记忆装置及其形成方法
摘要 半导体记忆装置包括具有第一主动区与第二主动区的基底。第一主动区包括第一源极与汲极区,第二主动区包括第二源极与汲极区。第一层间介电层配置在基底上方。第一导电结构延伸地穿过第一层间介电层。第一位元线配置于第一层间介电层上。第二层间介电层配置于第一层间介电层上。接触窗延伸地穿过第二与第一层间介电层。半导体记忆装置包括第二导电结构,其配置于接触窗中且延伸地穿过第一与第二层间介电层。第二位元线配置于第二层间介电层上。位于第二层间介电层之底面处的接触窗的宽度小于或实质上等于位于第二层间介电层之顶面处的接触窗的宽度。
申请公布号 TW200935592 申请公布日期 2009.08.16
申请号 TW097143915 申请日期 2008.11.13
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 薛钟善;李忠浩;郑周赫;崔正达;姜熙秀;崔东郁
分类号 H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 南韩