发明名称 ANORDNUNG ZUR PRÜFUNG VON HALBLEITER-WAFERN ODER DERGLEICHEN
摘要
申请公布号 AT167304(T) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 AT19920105051T 申请日期 1992.03.24
申请人 REITINGER, ERICH 发明人 REITINGER, ERICH
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26;G01R1/04;G01R31/30;H01L21/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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