发明名称 CHILLED SURFACE OF CRYOPUMP AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPS56138476(A) 申请公布日期 1981.10.29
申请号 JP19810030000 申请日期 1981.03.04
申请人 KERNFORSCHUNGSANLAGE JUELICH 发明人 YOHAN HEMUMERITSUHI
分类号 F04B37/08;F24J2/26;F25B39/02;F28F1/22 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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