发明名称 ENHANCING EPITAXY OR PREFERRED ORIENTATION
摘要
申请公布号 GB1601206(A) 申请公布日期 1981.10.28
申请号 GB19780009766 申请日期 1978.03.13
申请人 MASSACHUSETTS INST OF TECHNOLOGY 发明人
分类号 C30B19/12;C30B23/02;C30B25/18;(IPC1-7):C30B23/04;C30B7/00;C30B25/04;G03C5/16 主分类号 C30B19/12
代理机构 代理人
主权项
地址