CHEMICAL MECHANICAL POLISHER WITH HUB ARMS MOUNTED

摘要

화학 기계적 폴리싱 시스템이 제공된다. 화학 기계적 폴리싱 시스템은 플래튼, 로드 컵, 허브, 허브로부터 캔틸레버되고, 플래튼과 로드 컵 사이에서 허브의 중심선 주위로 회전가능한 제1 폴리싱 암, 및 허브로부터 캔틸레버되고, 플래튼과 로드 컵 사이에서 허브의 중심선 주위로 회전가능한 제2 폴리싱 암을 포함하고, 제2 암은 허브로부터 독립적으로 회전가능하다.