发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP A CANAL COURT
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE LA TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS.</P><P>LA FABRICATION D'UN TRANSISTOR MOS COMPORTANT UNE GRILLE EN SILICIUM POLYCRISTALLIN 13 FAIT INTERVENIR UNE SEQUENCE D'OPERATIONS DANS LESQUELLES ON FORME SIMULTANEMENT DES CONTACTS D'ELECTRODE DE SOURCE, DE DRAIN ET DE GRILLE PAR UN BOMBARDEMENT AVEC UN METAL DE TRANSITION TEL QUE DU PLATINE, FORMANT DES COUCHES DE SILICIURE DE METAL 19, 21, 18 SUR LES REGIONS DE SOURCE ET DE DRAIN 10.1, 10.2, AINSI QUE SUR L'ELECTRODE DE GRILLE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE TRANSISTORS HYPERFREQUENCES.</P>
申请公布号 FR2481005(A1) 申请公布日期 1981.10.23
申请号 FR19810007374 申请日期 1981.04.13
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC 发明人 MARTIN PAUL LEPSELTER, SIMON MIN SZE ET HYMAN JOSEPH LEVINSTEIN;SZE SIMON MIN;LEVINSTEIN HYMAN JOSEPH
分类号 H01L21/033;H01L21/285;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/70;H01L21/28;H01L29/76 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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