| 摘要 |
임프린트 장치는 기판을 유지하도록 구성되는 스테이지, 기판의 표면에 평행한 방향에서의 샷 영역과 몰드 사이의 상대 위치를 검출하도록 구성되는 검출기, 및 제어부를 포함하고, 제어부는 대상 샷 영역과는 상이한 샷 영역에 대한 임프린트 처리에서, 다른 샷 영역과 몰드 사이의 상대 위치에 관한 정보로서, 몰드 및 임프린트재를 서로 접촉시킨 이후 다른 샷 영역을 정렬하는데 사용되는 정보를 취득하도록 구성되고, 대상 샷 영역에 대한 임프린트 처리를 수행하는 경우, 대상 샷 영역에 관한 검출 결과 및 취득된 정보를 사용하여 해당 방향에서의 대상 샷 영역과 몰드 사이의 상대 위치를 조정하도록 구성된다. |
