发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56130473(A) 申请公布日期 1981.10.13
申请号 JP19800031573 申请日期 1980.03.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 OOTSUBO TOORU;AIUCHI SUSUMU
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址