发明名称 Non rectifying low resistance contact on a III-V compound-semiconductor and method of manufacturing it.
摘要 Kontakt auf III-V-Halbleitermaterials (1) mit einer 4-Schichtfolge aus insbesondere einer Indium-Schicht (2), Zinkschicht (3), einer Chrom-Nickel- oder Palladium oder Platin-Schicht (4) und einer Goldschicht (5).
申请公布号 EP0037005(A1) 申请公布日期 1981.10.07
申请号 EP19810101984 申请日期 1981.03.17
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 LAUTERBACH, CHRISTL GEB. ENGELBRECHT
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L23/482;H01L29/45 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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