发明名称 METHOD OF PRODUCING DEVICE IN WAFER
摘要
申请公布号 JPS56125873(A) 申请公布日期 1981.10.02
申请号 JP19810014474 申请日期 1981.02.04
申请人 TELETYPE CORP 发明人 RICHIYAADO ETSUCHI HEREN
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/41;H01L29/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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