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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS56119775(A) 申请公布日期 1981.09.19
申请号 JP19800022719 申请日期 1980.02.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANEKO HIROSHI;MONMA NAOHIRO;SAITOU OSAMU;YAO TSUTOMU
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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