| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR GENERATING PLASMAS. |
| 摘要 |
Un reacteur cylindrique de plasmas (10), a ecoulement radial a excitation (RF), comprend un guide d'ondes toroidal (17) de section rectangulaire connecte a une source de micro-ondes (21). On fait passer l'une des especes reactionnelles (37) au travers du guide d'ondes et elle est pre-ionisee, permettant ainsi une commande independante sur l'activation des deux especes reactionnelles. |
| 申请公布号 |
EP0035565(A1) |
申请公布日期 |
1981.09.16 |
| 申请号 |
EP19800901996 |
申请日期 |
1981.04.08 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
KUYEL, BIROL |
| 分类号 |
H01L21/302;B01J19/12;C23C14/00;C23C14/22;C23C14/24;C23C16/517;C23F1/08;H01L21/3065;H05B6/80;H05H1/46;(IPC1-7):23C11/06 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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