发明名称 Optical system for alignment inspection
摘要
申请公布号 US2906161(A) 申请公布日期 1959.09.29
申请号 US19540419470 申请日期 1954.03.29
申请人 PENN OPTICAL & INSTRUMENT CO. 发明人 THOMPSON KENNETH B.
分类号 G01B9/04;G01B11/00;G01B11/08 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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