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发明名称 EVACUATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56115885(A) 申请公布日期 1981.09.11
申请号 JP19800018504 申请日期 1980.02.19
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TOUJIYOU TOORU;YOSHII SHINTAROU
分类号 H01J41/20;F04B37/16;H01J19/70 主分类号 H01J41/20
代理机构 代理人
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