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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS56111217(A) 申请公布日期 1981.09.02
申请号 JP19800013845 申请日期 1980.02.07
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KUROSAWA AKIRA;TANIGUCHI KENJI
分类号 H01L21/28;H01L21/283 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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