发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS56107581(A) |
申请公布日期 |
1981.08.26 |
申请号 |
JP19790145978 |
申请日期 |
1979.11.09 |
申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORP |
发明人 |
MAIKERU TOOMASU ERIOTSUTO;MAIKERU ROBAATO SUPURINTA;ADEISON BURUTSUKU JIYOONZU;JIYON PIITAA RIIKUSUTEIN |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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