发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS56107581(A) 申请公布日期 1981.08.26
申请号 JP19790145978 申请日期 1979.11.09
申请人 ROCKWELL INTERNATIONAL CORP 发明人 MAIKERU TOOMASU ERIOTSUTO;MAIKERU ROBAATO SUPURINTA;ADEISON BURUTSUKU JIYOONZU;JIYON PIITAA RIIKUSUTEIN
分类号 H01L29/78;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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