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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5635860(B2) 申请公布日期 1981.08.20
申请号 JP19780004319 申请日期 1978.01.20
申请人 发明人
分类号 G03C1/72;G03C5/08;G03F1/00;G03F1/68;G03F7/00;G03F7/20;H01K3/06;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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