发明名称 |
RADAVKAENNINGSANORDNING FOER MATERIALBANOR FOER DETEKTERING AV FELSTAELLEN |
摘要 |
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申请公布号 |
FI59488(C) |
申请公布日期 |
1981.08.10 |
申请号 |
FI19760003193 |
申请日期 |
1976.11.08 |
申请人 |
ERWIN SICK G M B H OPTIK-ELEKTRONIK |
发明人 |
SICK ERWIN |
分类号 |
H01L21/66;D06H3/08;G01N21/86;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/896;G01N21/898;(IPC1-7):G01N21/17 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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