发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5698874(A) 申请公布日期 1981.08.08
申请号 JP19800000423 申请日期 1980.01.07
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MUTA HIROKI
分类号 H01L29/80;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/095;H01L29/417 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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