发明名称
摘要
申请公布号 FR2351489(B1) 申请公布日期 1981.08.07
申请号 FR19770013969 申请日期 1977.05.06
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人
分类号 H01J9/04;H01J1/28;H01J1/46;H01J1/48;H01J3/02;H01J9/14;H01J19/14;H01J23/02;H01J23/06;H01J23/065;(IPC1-7):H01J1/20 主分类号 H01J9/04
代理机构 代理人
主权项
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