| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC MASK FOR ION ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5696076(A) |
申请公布日期 |
1981.08.03 |
| 申请号 |
JP19790170993 |
申请日期 |
1979.12.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KUME TOMIO;TSUTSUMI SHIYOUICHI;YONEOKA SEIJI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/00;G11B5/127;G11B5/187 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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