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发明名称 VERFAHREN DER ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE UND ELEKTRONENMIKROSKOPISCHEN INSPEKTION
摘要
申请公布号 DD149831(A1) 申请公布日期 1981.07.29
申请号 DD19800219510 申请日期 1980.03.07
申请人 HELMSTREIT,WILFRIED,DD;KLEY,BERNHARD E.,DD;BIEDERMANN,WOLFGANG,DD;HOESSELBARTH,BERND,DD 发明人 HELMSTREIT,WILFRIED,DD;KLEY,BERNHARD E.,DD;BIEDERMANN,WOLFGANG,DD;HOESSELBARTH,BERND,DD
分类号 B05D3/06;H01L21/312;H01L21/47;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 B05D3/06
代理机构 代理人
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